工业去离子水主要指采用离子交换树脂处理方法，用离子交换树脂中的阳树脂及阴树脂去除水中的阴离子和阳离子，去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。现在工艺主要采用RO反渗透的方法制取。更高纯度的水质在反渗透后面还需加EDI或混床超纯水装置，超纯水还需加核能级抛光混床。
国际规范化组织ISO/TC147中规定的去离子"定义为：去离子水或不地去除离子物质。但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。半导体行业中，去离子水被称为“高纯水"或是18兆欧水
蒸馏水只是先气化再冷凝，相对而言。其水的纯度一般不如纯度高的去离子水（如电导率），半导体工业生产中用的大多数是高纯度的去离子水
从自来水到去离子水一般要经过几步处理
1先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质
2然后高压通过反渗透膜
3.可以再进行一次离子交换过程电阻率可达达18兆欧
4.般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物以及配置0.22U精密过滤器
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